Физико-химические особенности формирования иерархических наноструктур для сенсорных элементов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники, 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Пронин Игорь Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пронин, И. А. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2015 |
| Физические характеристики: |
15 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||