Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Трапашко Георгий Алексеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Н//182011(039), 2Н//182611(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Трапашко, Г. А.
Опубликовано: Минск , 2014
Физические характеристики: 21 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ИЗДЕЛИЯ
СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
ПЛАНАРНЫЕ СТРУКТУРЫ
РАЗМЕРНЫЙ КОНТРОЛЬ
ФОТОМЕТРИЯ
КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ
ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ СИСТЕМЫ
ФОТОМЕТРИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ
СВЕТОДИОДЫ
КАЛИБРОВКА СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001146376
005 20171109091324.0
100 # # $a 20141104d2014 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus  $d bel  $d rus  $d eng 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Трапашко Георгий Алексеевич  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2014 
215 # # $a 21 с.  $c ил. 
300 # # $a Резюме на белорусском, русском, английском языках 
311 # # $a В фонде НББ имеется диссертация 
320 # # $a Библиография: с. 17—18 (16 назв.) 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0001196482 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18374  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18382  $a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ИЗДЕЛИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3334434  $a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5236997  $a ПЛАНАРНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2686716  $a РАЗМЕРНЫЙ КОНТРОЛЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36400  $a ФОТОМЕТРИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14544  $a КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21875  $a ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1959356  $a ФОТОМЕТРИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58871  $a СВЕТОДИОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12967910  $a КАЛИБРОВКА СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:658.562:535.24.08(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.81  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 90.27.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 1 $a Трапашко  $b Г. А.  $g Георгий Алексеевич 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 995 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20141104  $g psbo 
830 # # $a 27.11.2014 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0001146376&fileID=9276610 

Схожие документы