Оборудование для инанесения тонких пленок в микроэлектронике / В. В. Демиденко
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Демиденко, В. В. |
| Veröffentlicht: | Москва : Информприбор , 1991 |
| Beschreibung: |
11, [2] с., включая обложку : табл. ; 21 см
|
| Sprache: | Русский |
| Schriftenreihe: |
Приборы, средства автоматизации и системы управления
вып. 2-1991 |
1991, Вып.2: Оборудование для нанесения тонких пленок...
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||