
Оборудование для инанесения тонких пленок в микроэлектронике / В. В. Демиденко
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Демиденко, В. В. |
Опубликовано: | Москва : Информприбор , 1991 |
Физические характеристики: |
11, [2] с., включая обложку : табл. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Приборы, средства автоматизации и системы управления
вып. 2-1991 |
1991, Вып.2: Оборудование для нанесения тонких пленок...
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|