Оборудование для инанесения тонких пленок в микроэлектронике / В. В. Демиденко

Сохранено в:
Шифр документа: 217072-2,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Демиденко, В. В.
Опубликовано: Москва : Информприбор , 1991
Физические характеристики: 11, [2] с., включая обложку : табл. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Приборы, средства автоматизации и системы управления вып. 2-1991

1991, Вып.2: Оборудование для нанесения тонких пленок...

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
217072-2 ОФХ журналов и продолжающихся изданий (050) 14:1 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал