Оборудование для инанесения тонких пленок в микроэлектронике / В. В. Демиденко
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Демиденко, В. В. |
| Опубликовано: | Москва : Информприбор , 1991 |
| Физические характеристики: |
11, [2] с., включая обложку : табл. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Приборы, средства автоматизации и системы управления
вып. 2-1991 |
Загрузка