Прецезионная литография для производства сверхбольших интегральных микросхем / Л. А. Наумова, Т. А. Чернова
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Наумова, Л. А. |
| Wydane: | Москва : ЦНИИТЭИприборостроения , 1979 |
| Opis fizyczny: |
12, [1] с., включая обложку : табл. ; 21 см
|
| Język: | Русский |
| Seria: |
Приборы, средства автоматизации и системы управления
вып. 6-1979 |
1979, Вып.6: Прецизионная литография для производства... / Наумова Л. А.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||