Оптимизация технологических процессов изготовления интегральных микросхем / А. И. Лизин, В. В. Демиденко
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Лизин, А. И. |
| Published: | Москва : ЦНИИТЭИприборостроения , 1986 |
| Physical Description: |
41, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Language: | Russian |
| Series: |
Приборы, средства автоматизации и системы управления
вып. 5-1986 |
1986, Вып.5: Оптимизация технологических процессов изготовления...
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||