|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000966881 |
| 005 |
20150924095613.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20130722d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Структура и свойства бинарных и многокомпонентных покрытий на основе оксида титана и оксида гафния, формируемых атомно-слоевым осаждением из алкоксидов титана и этилметиламида гафния
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
$e специальность 02.00.21 Химия твердого тела
$f Токнова Валентина Федоровна
$g [Московский физико-технический институт (государственный университет)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Долгопрудный
$d 2013
|
| 215 |
# |
# |
$a 18 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 18 (8 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2148506
$a ХИМИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2645429
$a ПОСЛОЙНОЕ АТОМНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18584
$a МНОГОКОМПОНЕНТНЫЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3973
$a БИНАРНЫЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35859
$a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4025
$a БИОЛОГИЧЕСКАЯ АКТИВНОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar8169841
$a ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 02.00.21
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.19
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.25
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar6423085
$a Токнова
$b В. Ф.
$g Валентина Федоровна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20130722
$g psbo
|
