Структура и свойства бинарных и многокомпонентных покрытий на основе оксида титана и оксида гафния, формируемых атомно-слоевым осаждением из алкоксидов титана и этилметиламида гафния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук: специальность 02.00.21 Химия твердого тела / Токнова Валентина Федоровна
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Токнова, В. Ф. |
| Veröffentlicht: | Долгопрудный , 2013 |
| Beschreibung: |
18 с. : ил.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||