Методы получения и характеристики полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Корпухин Андрей Сергеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Корпухин, А. С. |
| Опубликовано: | Москва , 2012 |
| Физические характеристики: |
19 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||