Повышение чувствительности электронно-эмиссионного датчика скорости осаждения веществ электронно-лучевым испарением на основе использования магнетронного эффекта: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.13.05 Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления / Черников Виталий Дмитриевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Черников, В. Д. |
| Опубликовано: | Рыбинск , 2012 |
| Физические характеристики: |
16 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||