Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.02 Вакуумная и плазменная электроника / Комлев Андрей Евгеньевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Комлев, А. Е. |
| Апублікавана: | Санкт-Петербург , 2011 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
16 с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||