Разработка нанокомпозитных структур в системе Si/SiO2 для формирования элементов устройств вычислительной техники и систем управления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.05 ; 01.04.10 / Стройков Илья Игоревич
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Стройков, И. И. |
| Publié: | Санкт-Петербург , 2011 |
| Description matérielle: |
16 с., включая обложку : ил
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||