Повышение эффективности управления технологическим процессом формирования структур интегральных элементов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.06 / Мустафаев Марат Гусейнович
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Мустафаев, М. Г. |
Опубликовано: | Владикавказ , 2011 |
Физические характеристики: |
23 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|