Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Гуляев Вячеслав Валентинович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гуляев, В. В. |
| Опубликовано: | Воронеж , 2011 |
| Физические характеристики: |
16 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||