Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10: защищена 18.06.10: утверждена 15.09.10 / Королик Ольга Васильевна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Королик, О. В. |
| Опубликовано: | Минск , 2010 |
| Физические характеристики: |
133, [2] л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||