Совершенствование технологии выращивания полупроводниковых гетероструктур методом MOC-гидридной эпитаксии на основе программного комплекса: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.01 / Арбенин Дмитрий Евгеньевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Арбенин, Д. Е. |
| Опубликовано: | Москва , 2010 |
| Физические характеристики: |
23 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||