Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: 01.04.01 / Колпаков Всеволод Анатольевич
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Колпаков, В. А. (род. 1978) |
| Publicado: | Самара , 2010 |
| Descripción Física: |
32 с. : ил.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||