Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: 01.04.01 / Колпаков Всеволод Анатольевич

Guardado en:
Шифр документа: 2//87159(039),
Formato: Авторефераты диссертаций
Autor principal: Колпаков, В. А. (род. 1978)
Publicado: Самара , 2010
Descripción Física: 32 с. : ил.
Lenguaje: Русский
Materias:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Disponible  Hacer reserva

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//87159(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:88 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал