Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.01 / Турцевич Аркадий Степанович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Турцевич, А. С. (род. 1958) |
| Published: | Минск , 2010 |
| Physical Description: |
52 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||