
Метод формирования регулярной матрицы нанокластеров кремния в системе кремний-диоксид кремния для элементов и устройств вычислительной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.05 / Фам Куанг Тунг
Gespeichert in:
Format: | |
---|---|
1. Verfasser: | Фам Куанг Тунг |
Veröffentlicht: | Санкт-Петербург , 2009 |
Beschreibung: |
22 с. : ил.
|
Sprache: | Русский |
Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|