Метод формирования регулярной матрицы нанокластеров кремния в системе кремний-диоксид кремния для элементов и устройств вычислительной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.05 / Фам Куанг Тунг
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Фам Куанг Тунг |
| Апублікавана: | Санкт-Петербург , 2009 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
22 с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||