Численное моделирование роста поликристаллического кремния из хлоридных соединений: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.07 / Бровин Дмитрий Сергеевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Бровин, Д. С. |
| Published: | Санкт-Петербург , 2008 |
| Physical Description: |
16 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||