Численное моделирование формирования изображения в проекционной фотолитографии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.03 / Рыжикова Юлия Владимировна
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Рыжикова, Ю. В. |
| Publicado: | Москва , 2008 |
| Descripción Física: |
17 с. : ил.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||