Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06: защищена 03.04.08: утверждена 25.06.08 / Аваков Сергей Мирзоевич

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//1250(039), #32Н//45773CD(055),
Вид документа: Диссертации
Автор: Аваков, С. М. (род. 1955)
Опубликовано: Минск , 2007
Физические характеристики: 301 л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
ТОПОЛОГИЯ
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ФОТОШАБЛОНЫ
ФОТОЛИТОГРАФИЯ
АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0000202559
005 20220412164426.0
100 # # $a 20080725d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники  $e диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук  $e 05.27.06  $e защищена 03.04.08  $e утверждена 25.06.08  $f Аваков Сергей Мирзоевич  $g научный консультант С. Е. Карпович  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2007 
215 # # $a 301 л.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: л. 175-189 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000153573 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23677  $a ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34220  $a ТОПОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85262  $a ФОТОШАБЛОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1585  $a АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.771.14/.16-027.3:658.562(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.81  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 50.43  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-369599  $a Аваков  $b С. М.  $g Сергей Мирзоевич  $c доктор технических наук, электроника  $f род. 1955 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080305  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer/?markID=BY-NLB-br0000202559&fileID=1947908 

Схожие документы