Структура и свойства функциональных слоев нитрида кремния на различных стадиях их формирования в технологии устройств нано- и микросистемной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.02.01 / Обижаев Денис Юрьевич
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Обижаев, Д. Ю. |
| Publicado: | Москва , 2008 |
| Descripción Física: |
22 с. : ил.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||