Структура и свойства функциональных слоев нитрида кремния на различных стадиях их формирования в технологии устройств нано- и микросистемной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.02.01 / Обижаев Денис Юрьевич
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Обижаев, Д. Ю. |
| Veröffentlicht: | Москва , 2008 |
| Beschreibung: |
22 с. : ил.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||