Исследование процессов 3D- структурирования в электронной литографии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 05.27.01 / Князев Максим Александрович
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Князев, М. А. |
| Veröffentlicht: | Черноголовка , 2007 |
| Beschreibung: |
18 с. : ил.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||