Разработка и исследование метода синтеза трихлорсилана по реакции гидрирования тетрахлорида кремния в водородной плазме: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук: 02.00.01 / Корнев Роман Алексеевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Корнев, Р. А. |
Опубликовано: | Нижний Новгород , 2007 |
Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|