Исследование влияния сорбата остаточных газов на работоспособность элементов вакуумного технологического оборудования: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Коновалов Владимир Вячеславович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Коновалов, В. В. |
| Published: | Москва , 2007 |
| Physical Description: |
16 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||