Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Мустафаев Абдулла Гасанович
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Мустафаев, А. Г. |
| Wydane: | Владикавказ , 2006 |
| Opis fizyczny: |
17 с. : ил.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||