Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Мустафаев Абдулла Гасанович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Мустафаев, А. Г. |
| Апублікавана: | Владикавказ , 2006 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
17 с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||