Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Мустафаев Абдулла Гасанович
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Мустафаев, А. Г. |
| Publié: | Владикавказ , 2006 |
| Description matérielle: |
17 с. : ил.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||