Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Мустафаев Абдулла Гасанович
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Мустафаев, А. Г. |
| Publicado: | Владикавказ , 2006 |
| Descripción Física: |
17 с. : ил.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||