Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Голод Сергей Владиславович
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Голод, С. В. |
| 出版: | Новосибирск , 2006 |
| 實物描述: |
23 с. : ил.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||