Другие авторы/ответственные: |
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (Минск) |
УДК: |
621.382.049.77-027.3:621.793.7(043.3)
|
ГРНТИ: |
47.13.11
47.13.33
47.09.31
55.22.23
55.20.15
|
Шифр специальности: |
05.27.06
|
Другие заглавия: |
Формирование тонкоплёночных слоёв с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением
|
Примечания: |
Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках
В фонде НББ имеется диссертация
Библиография: с. 17—18 (13 назв.)
|
Связанные документы: |
Другие взаимосвязанные документы:
Warning: Undefined variable $biId in /usr/local/vufind/themes/nlb/templates/RecordDriver/DefaultRecord/core.phtml on line 391
Warning: Undefined array key 0 in /usr/local/vufind/module/VuFind/src/VuFind/RecordDriver/DefaultRecord.php on line 335
|