
Процессы и аппараты для получения полупроводниковых материалов: Курс лекций. [В 4-х ч.] / Моск. ин-т стали и сплавов. Кафедра физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов
Gespeichert in:
Mehr/weniger anzeigen.
1. Verfasser: | Крапухин, В. В. |
---|---|
Weitere Verfasser: | Соколов, И. А., Кожитов, Л. В. |
Format: | |
Veröffentlicht: | М. : [МИС и С] , 1974 |
Sprache: | Русский |
Schlagworte: |