|
|
|
|
|
00000cam1a22000003ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br96771G10194 |
| 005 |
20180307125141.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19980210d1993 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a j 000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Учебное пособие по курсу "Химия в микроэлектронике"
$f В. З. Петрова, Н. А. Ханова, В. И. Гребенькова, Р. Ф. Шутова
$g Моск. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1993
|
| 215 |
# |
# |
$d 20 см
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-182254
$a Петрова
$b В. З.
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-182255
$a Ханова
$b Н. А.
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-182256
$a Гребенькова
$b В. И.
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-182257
$a Шутова
$b Р. Ф.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19980210
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060314
$g psbo
|
