Учебное пособие по курсу "Химия в микроэлектронике" / В. З. Петрова, Н. А. Ханова, В. И. Гребенькова, Р. Ф. Шутова
Сохранено в:
Показ/скрытие дополнительной информации.
Другие авторы/ответственные: | Петрова, В. З., Ханова, Н. А., Гребенькова, В. И., Шутова, Р. Ф. |
---|---|
Вид документа: | |
Опубликовано: | М. : МИЭТ , 1993 |
Язык: | Русский |