Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники: в 3 т. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften Rheinisch Westfälische Technische Hochschule Aachen

Сохранено в:
Другие авторы/ответственные: Достанко, А. П. (1937—2024), Кундас, С. П. (1953—2020), Бордусов, С. В. (род. 1955), Босяков, М. Н., Свадковский, И. В., Ильющенко, А. Ф. (род. 1956), Ануфриев, Л. П. (род. 1945), Lugscheider, E. F.‏ (род. 1940), Карпович, С. Е. (1949—2023), Витязь, П. А. (род. 1936), Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (Минск), Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften Rheinisch Westfälische Technische Hochschule Aachen
Вид документа: Книги
Опубликовано: Минск : ФУАинформ , 2000―2001
Язык: Русский
00000cam1a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br330651G19391
005 20180726110150.0
010 # # $a 985-6564-23-9 
100 # # $a 20010427g20002001u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a ||||||||00|yy 
200 1 # $a Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники  $d Plasma processes in electronics production  $e в 3 т.  $f Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften Rheinisch Westfälische Technische Hochschule Aachen  $z eng 
210 # # $a Минск  $c ФУАинформ  $d 2000―2001 
215 # # $d 22 см 
510 1 # $a Plasma processes in electronics production  $z eng 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2495390  $a Достанко  $b А. П.  $g Анатолий Павлович  $c доктор технических наук  $f 1937—2024 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar161314  $a Кундас  $b С. П.  $g Семен Петрович  $c доктор технических наук  $f 1953—2020 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2634921  $a Бордусов  $b С. В.  $g Сергей Валентинович  $c доктор технических наук  $f род. 1955 
701 # 1 $3 BY-SEK-688094  $a Босяков  $b М. Н.  $g Михаил Никифорович  $c кандидат физико-математических наук 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2637784  $a Свадковский  $b И. В.  $g Игорь Витальевич 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2680327  $a Ильющенко  $b А. Ф.  $g Александр Федорович  $c доктор технических наук  $f род. 1956 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2495368  $a Ануфриев  $b Л. П.  $g Леонид Петрович  $c доктор технических наук  $f род. 1945 
701 # 1 $3 BY-SEK-688095  $a Lugscheider  $b E. F.‏  $g Erich F.‏  $f род. 1940 
701 # 1 $3 BY-SEK-289572  $a Карпович  $b С. Е.  $g Святослав Евгеньевич  $c доктор технических наук  $f 1949—2023 
702 # 1 $3 BY-NLB-ar2349657  $a Витязь  $b П. А.  $g Петр Александрович  $c доктор технических наук  $f род. 1936  $4 340 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 475 
712 0 2 $a Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften Rheinisch Westfälische Technische Hochschule Aachen  $4 570 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20010427  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo