Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники: в 3 т. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften Rheinisch Westfälische Technische Hochschule Aachen
Сохранено в:
Показ/скрытие дополнительной информации.
| Другие авторы/ответственные: | Достанко, А. П. (1937—2024), Кундас, С. П. (1953—2020), Бордусов, С. В. (род. 1955), Босяков, М. Н., Свадковский, И. В., Ильющенко, А. Ф. (род. 1956), Ануфриев, Л. П. (род. 1945), Lugscheider, E. F. (род. 1940), Карпович, С. Е. (1949—2023), Витязь, П. А. (род. 1936), Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (Минск), Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften Rheinisch Westfälische Technische Hochschule Aachen |
|---|---|
| Вид документа: | |
| Опубликовано: | Минск : ФУАинформ , 2000―2001 |
| Язык: | Русский |