Маршрутная технология производства кристаллов СБИС: методическое пособие по технологии микроэлектроники для специальности "Конструирование и технология радиоэлектронных средств", "Электронно-оптическое аппаратостроение" / В. В. Шаталов [и др.]

Сохранено в:
Другие авторы/ответственные: Шаталов, В. В., Достанко, А. П. (1937—2024), Дударчик, А. И., Кобызев, А. Л., Минский радиотехнический институт. Кафедра технологии радиоэлектронной аппаратуры
Вид документа: Книги
Опубликовано: Минск : МРТИ , 1994―1995
Язык: Русский
00000cam1a22000003ib4500
001 BY-NLB-br16162G1471
005 20181011092830.0
100 # # $a 19930625g19941995u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a ||||||||00|yy 
200 1 # $a Маршрутная технология производства кристаллов СБИС  $e методическое пособие по технологии микроэлектроники для специальности "Конструирование и технология радиоэлектронных средств", "Электронно-оптическое аппаратостроение"  $f В. В. Шаталов [и др.]  $g под общей редакцией А. П. Достанко  $g Минский радиотехнический институт, Кафедра технологии радиоэлектронной аппаратуры 
210 # # $a Минск  $c МРТИ  $d 1994―1995 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
701 # 1 $3 BY-SEK-215743  $a Шаталов  $b В. В.  $g Виктор Васильевич  $c микроэлектронная техника 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2495390  $a Достанко  $b А. П.  $g Анатолий Павлович  $c доктор технических наук  $f 1937—2024  $4 070  $4 340 
701 # 1 $3 BY-SEK-287400  $a Дударчик  $b А. И.  $g Анатолий Иванович  $c кандидат технических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-188900  $a Кобызев  $b А. Л. 
712 0 2 $3 BY-SEK-906554  $a Минский радиотехнический институт  $b Кафедра технологии радиоэлектронной аппаратуры  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930625  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060314  $g psbo