Маршрутная технология производства кристаллов СБИС: методическое пособие по технологии микроэлектроники для специальности "Конструирование и технология радиоэлектронных средств", "Электронно-оптическое аппаратостроение" / В. В. Шаталов [и др.]
Сохранено в:
Показ/скрытие дополнительной информации.
| Другие авторы/ответственные: | Шаталов, В. В., Достанко, А. П. (1937—2024), Дударчик, А. И., Кобызев, А. Л., Минский радиотехнический институт. Кафедра технологии радиоэлектронной аппаратуры |
|---|---|
| Вид документа: | |
| Опубликовано: | Минск : МРТИ , 1994―1995 |
| Язык: | Русский |