Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учебное пособие для вузов] : в 2 т. / [под общей редакцией Ю. Н. Коркишко]. Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Publicado: | 2010 |
| Descripción Física: |
392 с. : ил., табл.
|
| Lenguaje: | Ruso |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Hacer reserva | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||