Получение структур Si-Si₃N₄ из газовой фазы при атмосферном и пониженном давлениях [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: Утв. 19.10.88: (05.27.06)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Георгиева, В. Б. |
| Опубликовано: | М. , 1988 |
| Физические характеристики: |
301 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||