Разработка методики расчета параметрического брака, учитывающей однородность и воспроизводимость технологического процесса производства интегральных схем: (05.12.13): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Ленингр. ин-т точной механики и оптики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сэйгаль, М. В. |
| Опубликовано: | Л. , 1975 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||