Разработка методики расчета параметрического брака, учитывающей однородность и воспроизводимость технологического процесса производства интегральных схем: (05.12.13): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Ленингр. ин-т точной механики и оптики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сэйгаль, М. В. |
| Опубликовано: | Л. , 1975 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr31738670000 | ||
| 005 | 20070709150515.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [75-20079а] |
| 100 | # | # | $a 20070709d1975 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка методики расчета параметрического брака, учитывающей однородность и воспроизводимость технологического процесса производства интегральных схем $e (05.12.13) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $f Ленингр. ин-т точной механики и оптики |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1975 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 686 | # | # | $a 05.12.13 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Сэйгаль $b М. В. $g Марина Владимировна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070709 $g psbo |