|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr30315640000 |
| 005 |
20070612195029.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070612d1967 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Изготовление и свойства тонких пленок Si3N4, полученных с помощью реакции в условиях ВЧ-тлеющего разряда
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1967
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 с.
|
| 225 |
2 |
# |
$a Переводы иностр. литературы. Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника
$f М-во электронной пром-сти СССР. Центр. науч.-исслед. ин-т техн.-экон. исследований и науч. информации
$v Пер. № 101/ЭТ-2705
|
| 300 |
# |
# |
$a Перед. загл. авт.: Свон, Р., Мехта Р. и Кож, Т. На обл. авт. не указаны
|
| 675 |
# |
# |
$a 539.23
|
| 700 |
# |
1 |
$a Свон
$b Р.
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070612
$g psbo
|
