Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационных транспортных средств и чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Редин, В. М. |
| Опубликовано: | М. , 1992 |
| Физические характеристики: |
41 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29324980000 | ||
| 005 | 20070606155108.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070606d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационных транспортных средств и чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук $e (05.27.01) $f Моск. ин-т электрон. техники |
| 210 | # | # | $a М. $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 41 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 36-41 (37 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Редин $b В. М. $g Вадим Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070606 $g psbo |