Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационных транспортных средств и чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Редин, В. М. |
Опубликовано: | М. , 1992 |
Физические характеристики: |
41 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|