Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационных транспортных средств и чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электрон. техники

Сохранено в:
Шифр документа: 154648/92СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Редин, В. М.
Опубликовано: М. , 1992
Физические характеристики: 41 с.
Язык: Русский

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
154648/92СК ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:72 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал