Взаимодействие примесей и дефектов в пересыщенных слоях кремния при тепловых и радиационных обработках: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников

Сохранено в:
Шифр документа: 40663/86,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Попов, В. П.
Опубликовано: Новосибирск , 1986
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr28682740000
005 20070529182406.0
021 # # $a RU  $b [86-17330а] 
100 # # $a 20070529d1986 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Взаимодействие примесей и дефектов в пересыщенных слоях кремния при тепловых и радиационных обработках  $e (01.04.10)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $f АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников 
210 # # $a Новосибирск  $d 1986 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 17-20 (21 назв.) 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Попов  $b В. П.  $g Владимир Павлович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070529  $g psbo